清潔度無(wú)塵室有哪些分類(lèi)？
2023-03-21
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清潔度無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
清潔度無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境（無(wú)塵室）潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米。也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。
清潔度無(wú)塵室較主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。
例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造的重要要素。
清潔度無(wú)塵室可分為層流型和亂流型，層流潔凈室是指空氣由一側(cè)以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵粒或細(xì)菌不會(huì)向四周擴(kuò)散而被平推出室外或者經(jīng)過(guò)回風(fēng)口過(guò)濾器過(guò)濾處理，而達(dá)到好的除菌效果，該方式比較適合用于高潔凈度等級(jí)要求的行業(yè)潔凈室。
而亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經(jīng)過(guò)組合式空調(diào)機(jī)組初中效過(guò)濾器過(guò)濾，加壓由經(jīng)過(guò)保溫的風(fēng)管分散送到各個(gè)房間，然后經(jīng)過(guò)送風(fēng)口送入潔凈室內(nèi)，以達(dá)到凈化的效果，該送風(fēng)方式比較常見(jiàn)，回風(fēng)一般做在角落或者立柱的底部，整體回風(fēng)；潔凈室的送風(fēng)系統(tǒng)少不了各種空氣過(guò)濾器的嚴(yán)格控制。
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